XY 비교

Apr 02, 2023

이러한 시스템은 개별 구성 요소 또는 맞춤형 인터페이스, 케이블 관리 솔루션, 진공 피드스루 및 애플리케이션에 최적화된 통합 화강암 및 알루미늄 구조를 갖춘 완전한 통합 모션 시스템으로 구성 및 공급될 수 있습니다.

기사 | PI

고정밀 3축 XY-Theta 스테이지(XYT 어셈블리)는 레이저 정밀 가공, 반도체 및 포토닉스 테스트 및 생산, 의료 기기 제조와 관련된 많은 테스트 및 생산 프로세스에서 중요합니다. PI는 산업용 모션 컨트롤러가 포함된 통합 XY-Theta 모션 시스템을 위한 광범위하고 심층적인 솔루션 세트를 제공합니다. 이러한 시스템은 개별 구성 요소 또는 맞춤형 인터페이스, 케이블 관리 솔루션, 진공 피드스루 및 애플리케이션에 최적화된 통합 화강암 및 알루미늄 구조를 갖춘 완전한 통합 모션 시스템으로 구성 및 공급될 수 있습니다.

에어 베어링 회전 테이블이 있는 A-322 평면 에어 베어링 XY 스테이지를 기반으로 한 초고성능 화강암 기반 XY-Theta 스테이지 어셈블리입니다.

컴팩트한 에어베어링 기반의 로우 프로파일 XY-theta 스테이지 어셈블리입니다. 움직이는 A-311 XY-에어 베어링 스테이지를 확인하세요

PI의 엔지니어링 팀은 에어 베어링 기술과 다축 모션 스테이지 시스템에 대한 광범위한 전문 지식과 경험을 보유하고 있습니다. 비마모 특성과 함께 엔지니어링 에어 베어링 포지셔닝 시스템의 초정밀 성능은 선형 및 회전 모션이 결합된 반도체 응용 분야에 이상적인 솔루션을 제공합니다.

A-311 장거리 이동 XY 에어 베어링 스테이지와 360° Theta-Z 회전을 위한 A-621 로터리 스테이지를 기반으로 한 맞춤형 XY-Theta 스테이지

위 이미지에서는 맞춤형 로우 프로파일 A-311 에어베어링 평면 XY 모션 테이블이 고정밀 A-621 시리즈 에어베어링 회전 스테이지와 결합되어 정밀 XYT 어셈블리로 결합되었습니다.

비디오: 로우 프로파일 XY 평면 스테이지(모델 A-311) 및 직접 구동 에어 베어링 Theta-Z 스테이지(모델 A-623)를 기반으로 하는 XY-Theta 에어 베어링 스테이지. 이 소형 3축 스테이지는 고성능 레이저, 테스트 및 계측 응용 분야에 매우 적합합니다.

더 많은 자유도가 필요한 경우 XY 스테이지를 로우 프로파일 ZTT(Z-Tip-Tilt) 모션 모듈과 결합하여 그림에 표시된 대로 반도체 계측 응용 분야를 위한 5-DOF 웨이퍼 스테이지와 같은 5축 시스템을 형성할 수 있습니다. 아래 영상. ZTT 모듈은 6DOF 모션 애플리케이션을 위해 XY-Theta 스테이지에 추가될 수도 있습니다.

비디오: 에어 베어링을 사용한 5축 웨이퍼 계측 스테이지

PI XY-Theta 3축 스테이지 어셈블리는 ACS 산업용 모션 제어 구성 요소를 사용합니다. ACS 기반 PI 컨트롤러는 최고의 애플리케이션 성능을 위해 최적화된 구성을 사용합니다. 여기에는 LCM(레이저 제어 모듈)/LCI(레이저 제어 인터페이스) 하드웨어를 통한 모션 동기화 장치 트리거링과 안전 토크와 같은 기능 안전 기능을 포함하여 즉시 사용 가능한 작동을 위해 준비된 최적화된 시스템 매개변수 정보가 있는 사전 구성된 시스템이 포함됩니다. 끄다.

ACS 레이저 제어 모듈

PL e/SIL 3 인증 STO(Safe Torque Off) 기능은 기계 제작자에게 기계 안전을 구현하는 간단하고 비용 효율적인 방법을 제공합니다. STO는 일부 PI 모션 컨트롤러에서 사용할 수 있습니다.

많은 응용 분야에서 도구 통합을 위해서는 소형화가 중요합니다. V-508 로우 프로파일 리니어 스테이지/V-610 로우 프로파일 로터리 스테이지 다이렉트 드라이브, 다축 모션 시스템은 매우 로우 프로파일, 초소형 및 경량 고성능 3축 어셈블리의 한 예입니다. 또한 나노미터에서 미크론까지의 오차 허용 범위를 갖춘 원활한 조정 스캐닝 애플리케이션뿐만 아니라 빠른 단계 및 정착을 최적으로 처리할 수 있도록 기술적으로 유연합니다.

25x80mm 이동 거리를 제공하는 광 경로용 투명 조리개가 있는 XY-Theta 스테이지 어셈블리. 어셈블리는 두 개의 V-508 컴팩트 선형 변환 스테이지와 V-610 직접 구동 로터리 스테이지로 구성됩니다.

정밀 모션의 처리량이 많은 산업 자동화 애플리케이션에는 일반적으로 더 높은 부하와 가속도를 갖는 반복적인 움직임이 포함됩니다. 여기에서 위에 표시된 직접 구동 회전 테이블을 갖춘 V-817 시리즈 정밀 자동화 스테이지 어셈블리는 높은 연속 및 최대 힘을 ​​제공하는 효율적인 3상 선형 모터 및 토크 모터를 통해 높은 가속도 및 높은 듀티 사이클 모션을 제공합니다. 항공기 등급 알루미늄 합금을 사용한 견고한 스테이지 구성 및 설계는 적절한 정밀도로 짧은 시간 동안 높은 충격을 처리할 수 있는 강성을 제공합니다. 부하 특성과 긴 작동 수명을 위해 정밀 트럭 및 레일 베어링이 구현되었습니다. 높은 토크 출력을 갖춘 통합 고속 직접 구동 로터리 스테이지는 동적 스텝 정착 및 스캐닝 성능을 위해 사용됩니다.