Optimal Engineering Systems, XYR 출시

Jan 01, 2024

2018년 3월 26일 – Optimal Engineering Systems, Inc.(OES)의 XYR-03-01 정렬 스테이지는 각도 유리 절단 및 연삭, 웨이퍼 정렬, 반도체 처리, 레이저 절단 및 드릴링과 같은 응용 분야를 위한 XY-Theta 스테이지입니다. . X 및 Y축의 선형 분해능은 5μ(비 마이크로 스텝) 또는 0.125μ(단계당 20 마이크로 스텝 모터 드라이버 사용)이고 반복성은 1.5μ이며 위치 정확도는 5μ입니다. 회전당 1mm 리드 나사와 사전 로드된 V 홈 및 교차 롤러 베어링은 XYR-03-01 정렬 스테이지의 정밀도와 강성을 높여줍니다. X 및 Y축의 선형 이동은 50mm x 50mm입니다.

100mm 직경의 세타 스테이지는 90:1 비율의 웜 기어로 구동됩니다. 세타 단계의 분해능은 0.02O(비 마이크로 스텝) 또는 0.001O(단계당 20 마이크로 스텝 모터 드라이버 사용)입니다. 반복성은 0.005O, 위치 정확도는 0.01O, 백래시는 0.005O입니다.

2상 스테퍼 모터가 표준입니다. 각 축의 수동 조정용 손잡이는 위치 확인 또는 폐쇄 루프 작동을 위해 증분형 인코더로 교체될 수 있습니다. 이러한 검정색 양극산화 알루미늄 XY-Theta 스테이지는 신규 또는 기존 시스템에 통합될 수 있습니다. 호환 가능한 모션 컨트롤러는 OES에서 구입할 수 있으며 XYR-03-01 정렬 스테이지는 완전한 플러그 앤 플레이 시스템으로도 주문할 수 있습니다.

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